Sökresultat

Filtyp

Din sökning på "*" gav 550255 sökträffar

A new laser-plasma X-ray source for microscopy and lithography

Popular Abstract in Swedish Avhandlingen beskriver en ny typ av kompakt röntgenkälla baserad på ett laser-producerat plasma (LPP). I motsats till konventionella LPP används inte fasta material som strålmål för den fokuserade laserstrålen. I stället används mikroskopiska vätskedroppar eller vätskestrålar. Detta medför en mycket väsentlig minskning av det skräp (debris) som skickas ut från plasmat. A new high-brightness source for soft X-rays and EUV-radiation has been developed. This laser-plasma source utilizes a microscopic liquid droplet or jet as target. The result is a reduction of debris emission by several orders of magnitude compared to conventional laser plasmas. The minute amounts of residual ionic/atomic debris can be obstructed by filters or a localized gas shield. Target liquid