Chemical Vapor Deposition of Titanium Oxycarbide
Eller kemisk förångningsdeposition av titanoxykarbid. En undersökning av processparameterna i perspektivet av ett bindningslager i ett vändskär med hjälp av experimentdesignprogrammet MODDE. Titanoxykarbid är ett material med ovanliga egenskaper och bland annat har femfaldigt symmetriska multipeltvinnade kristaller och högindexerade kristallkorn blivit erhållna.Ti(C,O) coatings have been generated in a hot wall CVD system on WC/Co, fine and coarse grained Ti(C,N), TiN, Cr and c-BN substrates. The research in this thesis has focused on deposition, characterization, and analysis in the perspective of the bonding layer of a coated insert. The precursors, H2, TiCl4, CO, temperature and pressure have been coupled to the texture using a Design of Experiment so
